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零件內表面粗糙度、缺陷、形貌測量儀產品特性
√ 任意凹型或凸型物體表面/層的非接觸光學檢測
√ 可檢測金屬表面的任意形狀和微缺陷,而對非金屬表面可進行亞表面層分析
√ 亞微米精度測試結果不受表面質量的影響,表面可為拋光至很粗糙(平均獲得)
√ 易附加三維坐標的測量系統
√ *的侵入式探針傳感器可以輕松地進入樣品內部探測內表面,這是其他輪廓儀所不具備的
零件內表面粗糙度、缺陷、形貌測量儀產品規格
√ zui大獲得速率:16kHz
√ 工作距離(fix):0.4--15mm
√ 光斑尺寸(model 80/300):5um
√ zui細探針直徑:0.6mm
√ 重復性(在1kHz獲取速率下):+/-0.25um
√ 靜態精度(在0.1kHz獲取速率下):+/-0.05um
√ zui大移動速度:60mm/s
√ 測試波長(model 80/300):830/1300nm
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