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    光干涉薄膜測厚儀

    簡要描述:該產品是一款價格適中、功能強大的膜厚測量儀器,近幾年,每年的銷售量都超過200臺。根據型號不同,測量范圍可以從10nm到250um,它Z高可以同時測量4個膜層中的3個膜層厚度(其中一層為基底材料)。該產品可應用于在線膜厚測量、測氧化物、SiNx、感光保護膜和半導體膜。也可以用來測量鍍在鋼、鋁、銅、陶瓷和塑料等上的粗糙膜層。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2018-12-03
    • 訪  問  量:1214

    詳細介紹

    品牌其他品牌產地類別進口

    應用領域

    理論上講,我們的光干涉膜厚儀可以測量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下為我們zui熟悉的應用領域(半導體薄膜,光學薄膜涂層,在線原位測量,粗糙或弧度表面測量):

    □      晶片或玻璃表面的介電絕緣層(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...);

    □      晶片或玻璃表面超薄金屬層(Ag, Al, Au, Ti, ...);

    □      DLC(Diamond Like Carbon)硬涂層;SOI硅片;

    □      MEMs厚層薄膜(100µm up to 250µm);

    □      DVD/CD涂層;

    □      光學鏡頭涂層;

    □      SOI硅片;

    □      金屬箔;

    □      晶片與Mask間氣層;

    □      減薄的晶片(< 120µm);

    □      瓶子或注射器等帶弧度的涂層;

    □      薄膜工業的在線過程控制;等等…

     

    軟件功能hspace=0

    豐富的材料庫:操作軟件的材料庫帶有大量材料的n和k數據,基本上的常用材料都包括在這個材料庫中。用戶也可以在材料庫中輸入沒有的材料。

    軟件操作簡單、測速快:膜厚測量儀操作非常簡單,測量速度快:100ms-1s。

    軟件針對不同等級用戶設有一般用戶權限和管理者權限。

    軟件帶有構建材料結構的拓展功能,可對單/多層薄膜數據進行擬合分析,可對薄膜材料進行預先模擬設計。

    軟件帶有可升級的掃描功能,進行薄膜二維的測試,并將結果以2D或3D的形式顯示。軟件其他的升級功能還包括在線分析軟件、遠程控制模塊等。

    硬件升級
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    多通道測試,zui多支持8個獨立的同時測試                       6英寸、12英寸掃描樣品臺

     

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             RTL透明樣品夾具                           用于曲面結構的CSH探頭

     

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                顯微鏡配適器

    不同型號及規格
    NanoCal-VIS           波長400 -850 nm, 膜厚50 nm.-20 μm (如SiO2 on Si)
                                   分光計,A/D轉換器,USB和RS232接口,鹵素光源,反射探針,軟件
    NanoCal-NIR           波長650 -1100 nm, 膜厚70 nm.-70 μm
                                   分光計,A/D轉換器,USB和RS232接口,鹵素光源,反射探針,軟件
    NanoCal-VIS/NIR    波長400 -1100 nm, 膜厚50 nm.-100 μm (選配1um-250um)
                                   分光計,A/D轉換器,USB和RS232接口,鹵素光源,反射探針,軟件
    NanoCal-UV/VIS      波長250 -850 nm, 膜厚10 nm.-20 μm 
                                   分光計,A/D轉換器,USB和RS232接口,鹵素光源,反射探針,軟件
    NanoCal-FULL         波長250 -1100 nm, 膜厚10 nm.-70 μm
                                   分光計,A/D轉換器,USB和RS232接口,鹵素光源,反射探針,軟件
    NanoCal-NIR-HR     波長700 -978 nm, 膜厚1um-250um(選配400um),高分辨分光
                                   計,A/D轉換器,USB和RS232接口,鹵素光源,反射探針,軟件
    NanoCal-512-NIR    波長900 -1700 nm, 膜厚50 nm.-200 μm  InGaAs-512陣列分光                                 計,A/D轉換器,USB和RS232接口,高能鹵素光源,反射探針,軟件

    NanoCal 軟件                單層膜測量、模擬、分析,支持Windows環境;
    NanoCal MS 軟件          多層膜測量、模擬、分析,支持Windows環境
    NanoCal Mapping軟件   配合6”或12”掃描臺使用,完全3D數據;
    NanoCal Online軟件      在線原位分析軟件;
    NanoCal Remote軟件    遠程控制軟件模塊

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