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    三維非接觸輪廓儀(3D Profiling)

    簡要描述:微觀形貌/表面粗糙度/薄膜厚度/空間度量衡/形態、織構的表面分析/機械加工質量控制/工業表面測試<br>可以升級到雙掃描器雙面輪廓儀,同時兩面輪廓及總厚度測量。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2018-12-03
    • 訪  問  量:945

    詳細介紹

    產地類別進口

    儀器特點

    1. 快速非接觸技術;

    2. 經濟的設計;

    3. 不需要樣品準備;

    4. 高Z軸動態范圍(zui大27毫米);

    5. 高Z軸分辨率(zui小2納米);

    6. 粗糙或拋光表面均可測量;

    7. 透明或不透明物體均可測量;

    8. 大范圍材料種類均可測量(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發、牙齒…);

    9. 大尺寸樣品、旋轉樣品臺及其他客戶要求選配;

     

    儀器介紹

    我司代理的非接觸輪廓儀使用白光及獨特的彩色象差技術,粗糙度測量遠優于激光技術,采樣速度可達4000Hz,zui大27毫米的Z軸動態范圍確保給出測試樣品的*三維圖像。彩色象差技術的優勢還體現在高傾斜角度及低反射率的表面測量,因此與普通的白光干涉技術相比該儀器應用范圍很廣。

    與系統匹配的軟件包含參數設定(如掃描尺寸、線數、步進、轉換臺速度、數據采樣速度、選擇探針等)和數據后處理功能(如Abbott-Firestone曲線、快速傅立葉變換、自相關功能、三維成像、二維切片成像等)。

     

    儀器規格

    X & Y馬達平臺工作范圍

    150毫米(其他尺寸可按要求定做)

    Z軸范圍

    20毫米(內置手動千分尺調節工作距離,馬達自動調節選配)

    zui大數據采集速度

    zui大30,000數據點/秒

    zui大X,Y軸向速度

    20毫米/秒

     

    測量范圍

    工作距離(mm)

    軸向分辨率,精度(nm)

    斑點直徑(µm)

    橫向分辨率(µm)

    zui大傾斜角度**

    zui小測量厚度(µm)

    20µm

    0.37

    2, 10

    3

    1.5

    48°

    12

    130µm

    3.3

    5, 20*

    2*

    1.1*

    43°

    7*

    300µm

    5.68

    10, 90

    7.4

    3.7

    25°

    25

    350µm

    12.7

    10, 60

    7

    3.5

    27°

    25

    400µm

    11

    12, 60

    2.6*

    1.3*

    28°

    15*

    1mm

    23.9

    30, 300

    14 6

    6

    24°

    23

    1.2mm

    12.7

    25, 200

    4

    2

    27°

    25

    3mm

    26.9

    100, 600

    25

    12.5

    12°

    220

    3.5mm

    16.4

    75, 400

    8

    4

    22°

    60

    10mm

    66.9

    300, 900

    51

    25.5

    12°

    425

    12mm

    29

    280, 900

    16

    8

    14°

    200

    24mm

    222.3

    1500, 3000

    100

    50

    1570

    27mm

    19.6

    600, 3000*

    16

    8

    8.6°

    590

    2 - 100µm

    (干涉測量法)

    42

    10, 100

    20

    10

    7

    2

      *理論數據    **zui大傾斜角度可達到80°

     

    儀器部分三維圖像或數據

     

    hspace=0

    hspace=0

       左圖)

    一角硬幣三維形貌        

           

     

       右圖)

    紙的三維形貌

     

     

     

    hspace=0

    hspace=0

                                           

     

     

          

     

     

     

     

          上圖) 不銹鋼粗糙度                             上圖) 陶瓷表面形貌

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