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    納米(微米)壓痕/劃痕測試儀

    簡要描述:

    納米(微米)壓痕/劃痕測試儀用于薄膜、涂層、基底等材料的高精度納米機械性質測量,該儀器能快速提供您材料(軟、硬、脆、韌各種材料)的硬度、楊氏模量等性質。

    更新時間:2018-12-04

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    儀器特點

    1) 多頻率壓痕測試 – 這種技術對于塑料高分子、MEMs等黏彈性受頻率影響的材料變形研究非常有用,提供材料納米壓痕試驗全頻率范圍的黏彈性響應;

    2) 深至15nm的硬度&楊氏模量測試;

    3) Windows XP環境下自動操作;

    4) Spherical, Vickers及Berkovich納米壓痕測試;

    5) 材料黏彈性的動態機械分析;

    6) 潛變、疲勞、斷裂剛性測試;

    7) 壓痕的分布地圖繪制(Mapping);

    8) 選配的高低溫測試;

    9) AFM/SPM成像用于納米尺度壓痕圖像觀測;

    10) 可以升級增加納米(微米)劃痕、微米硬度測試模塊功能;

     

    規格

     zui大壓痕深度

     4µm & 25µm自動距離修正(1000µm可選配)

     深度分辨率(理論)

     0.006nm

     深度分辨率(防振臺*)

     0.5nm

     zui大負載

     50mN & 500mN自動距離修正

     負載分辨率(理論)

     0.08µN

     負載分辨率(防振臺*)

     1µN

     X-Y運動范圍

     200 x 100毫米

     X-Y橫向分辨率

     0.15µm

     Z向馬達

     90毫米

     物鏡鏡頭

     標準: 10x, 50x, 100x (選配: 5x, 20x)

     * 依賴實驗室環境

     

     

    應用領域

    半導體技術(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);

    存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層);

    光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層);

    金屬蒸鍍層;

    防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具);

    藥理學(藥片、植入材料、生物組織);

    工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS);

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